ساخت میکروسکوپ AFM با دامنه اسکن 300 میلیمتر
پارک سیستمز (Park Systems) یکی از تولیدکنندگان میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) است. این شرکت اخیراً مدل جدیدی از محصولات خود را با نام Park NX20 300mm رونمایی نمود. این میکروسکوپ تنها AFM تولید شده در جهان است که قادر به اسکن سطح ویفر با طول 300 میلیمتر است. این کار با استفاده از مخزن خلاء انجام می‌شود که موجب کاهش نویز سیستم به زیر 5/0 آنگستروم می‌شود. سیستم اندازه‌گیری و مطالعه سطح 300 میلیمتری ویفر می‌تواند برای صنایع الکترونیک این امکان را فراهم کند که بتوانند نمونه‌ها و محصولات صنعتی خود را با AFM بررسی کرده و زبری و مورفولوژی آن را دریابند؛ چیزی که برای صنایع اهمیت بالایی دارد.
کیبوک لی از مدیران شرکت پارک سیستم می‌گوید: «امروزه ویفرها و زیرلایه‌های 300 میلیمتری به وفور در صنعت استفاده می‌شوند، اما امکان بررسی آن‌ها با AFM وجود ندارد؛ ابزاری که می‌تواند با دقت بالا این محصولات را ارزیابی کند. با یک کلیک می‌توان بخش‌های مختلف یک نمونه را بررسی کرد که این امکان برای صنایع بسیار مهم است. این دستگاه جدید به محققان و تولیدکنندگان این امکان را می‌دهد تا به ارزیابی نمونه‌های 300 میلیمتری بپردازند و در عین حال مقدار نویز بسیار کمی را تجربه کنند.»
در این دستگاه یک استیج موتور دار XY قرار داده شده که قابلیت اسکن 300 میلیمتر در 300 میلیمتر را داراست. بخش خلاء این دستگاه به‌گونه‌ای طراحی شده که بتواند نمونه‌هایی با ابعاد 100 تا 300 میلیمتر را در خود جای دهد. البته این امکان وجود دارد که با استفاده از ابزار جانبی، نمونه‌های کوچکتر با شکل دلخواه را نیز در این دستگاه قرار داد.
به گزارش ستاد توسعه فناوری نانو،پارک نانوسیستمز یکی از شرکت‌های نوآور در حوزه مترولوژی نانومقیاس است که پیش از این جایزه Forst Sulliva 2016 را دریافت کرده است. این شرکت با ارائه نوآوری موفق شده‌است تا تجهیزات قدرتمندی را برای استفاده محققان به بازار ارائه کند. از سال 2997 این شرکت بهبود‌های بسیار نوآورانه‌ای را روی AFM خود پیاده‌سازی کرده است.
