نصب دو سامانه اچ پلاسما در آزمایشگاه فناوری نانو
دانشگاه ملی سئول کره جنوبی اقدام به خرید دو سامانه پردازش پلاسما از شرکت ادونسد وکیوم (Advanced Vacuum) کرده است. این دو سامانه قرار است در آزمایشگاه فناوری نانو این دانشگاه نصب و راه‌اندازی شود. قرار است پژوهشگران حوزه فناوری نانو این دانشگاه از این سامانه استفاده کنند.
پیش از این دو دستگاه سیستم خلاء برای پلاسمای جفت شده القائی (icp) در این آزمایشگاه نصب شده بود که یکی برای اچ کردن خشک و دیگری برای لایه نشانی شیمیایی از فاز بخار (HDPCVD) بود.
جونگ سونگ پارک، مدیر این آزمایشگاه در دانشگاه سئول، می‌گوید: «وجود اتاق تمیز در این آزمایشگاه به بسیاری از محققان برای انجام پروژه‌های خود کمک می‌کند. این شرایط با استفاده از این سامانه‌های Apex SLR قابل انجام است. هر دو سیستم همان طور که ما فکر می‌کردیم کار می‌کنند و نتایج تکرارپذیری را طی 16 ماه کار، ارائه کرده‌اند.»
در Apex SLR از شیمی مبتنی بر کلر استفاده شده است. این ابزار از کلر برای اچ‌کردن مواد مختلف استفاده می‌کند که بیشتر برای آلومینیوم مورد استفاده قرار می‌گیرد. سامانه Apex SLR HDPCVD نیز برای طیف وسیعی از فرآیندهای لایه نشانی نیترید سیلیکون و اکسید سیلیکون مورد استفاده قرار می‌گیرد.
به گزارش ستاد توسعه فناوری نانو،این سامانه هم برای بخش تحقیق و توسعه و هم تحقیقات دانشگاهی مناسب است. دیوید لیشان از مدیران این شرکت می‌گوید: «Apex SLR دارای تاریخچه فنی موفقیت آمیزی است و یکنواختی و تکرارپذیری قابل توجهی دارد. در بسیاری از حوزه‌های تحقیقاتی می‌توان از آن استفاده کرد.»
این سامانه ابزاری است که می‌توان از آن در حوزه‌های مختلف استفاده کرد. ترکیباتی نظیر نیمه‌هادی و همچنین انواع مواد مورد استفاده در فناوری نانو را می‌توان با این دستگاه حکاکی کرد. این دستگاه در دمای پایین کار می‌کند و از آن می‌توان در پوشش‌دهی نوری، لایه‌های غیرفعال نیمه‌هادی و فرآیندهای تولیدی در صنعت نانوالکترونیک استفاده کرد.
