پارک سیستمز (Park Systems) یکی از تولیدکنندگان میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) است. این شرکت اخیراً مدل جدیدی از محصولات خود را با نام Park NX20 300mm رونمایی نمود. این میکروسکوپ تنها AFM تولید شده در جهان است که قادر به اسکن سطح ویفر با طول ۳۰۰ میلیمتر است. این کار با استفاده از مخزن خلاء انجام میشود که موجب کاهش نویز سیستم به زیر ۵/۰ آنگستروم میشود. سیستم اندازهگیری و مطالعه سطح ۳۰۰ میلیمتری ویفر میتواند برای صنایع الکترونیک این امکان را فراهم کند که بتوانند نمونهها و محصولات صنعتی خود را با AFM بررسی کرده و زبری و مورفولوژی آن را دریابند؛ چیزی که برای صنایع اهمیت بالایی دارد.
کیبوک لی از مدیران شرکت پارک سیستم میگوید: «امروزه ویفرها و زیرلایههای ۳۰۰ میلیمتری به وفور در صنعت استفاده میشوند، اما امکان بررسی آنها با AFM وجود ندارد؛ ابزاری که میتواند با دقت بالا این محصولات را ارزیابی کند. با یک کلیک میتوان بخشهای مختلف یک نمونه را بررسی کرد که این امکان برای صنایع بسیار مهم است. این دستگاه جدید به محققان و تولیدکنندگان این امکان را میدهد تا به ارزیابی نمونههای ۳۰۰ میلیمتری بپردازند و در عین حال مقدار نویز بسیار کمی را تجربه کنند.»
در این دستگاه یک استیج موتور دار XY قرار داده شده که قابلیت اسکن ۳۰۰ میلیمتر در ۳۰۰ میلیمتر را داراست. بخش خلاء این دستگاه بهگونهای طراحی شده که بتواند نمونههایی با ابعاد ۱۰۰ تا ۳۰۰ میلیمتر را در خود جای دهد. البته این امکان وجود دارد که با استفاده از ابزار جانبی، نمونههای کوچکتر با شکل دلخواه را نیز در این دستگاه قرار داد.
به گزارش ستاد توسعه فناوری نانو،پارک نانوسیستمز یکی از شرکتهای نوآور در حوزه مترولوژی نانومقیاس است که پیش از این جایزه Forst Sulliva ۲۰۱۶ را دریافت کرده است. این شرکت با ارائه نوآوری موفق شدهاست تا تجهیزات قدرتمندی را برای استفاده محققان به بازار ارائه کند. از سال ۲۹۹۷ این شرکت بهبودهای بسیار نوآورانهای را روی AFM خود پیادهسازی کرده است.
ساخت میکروسکوپ AFM با دامنه اسکن ۳۰۰ میلیمتر
