گروه صنعتی ای وی (EVG) از پیشروان صنعت ساخت ویفر و تجهیزات لیتوگرافی برای فناوری نانو، بازار نیمه‌هادی و MEMS است. این گروه اعلام کرد دستگاه اتصال ویفر نیمه خودکار EVG520IS را که مجهز به خلاء بالاست برای مرکز ملی نانوتولید کره جنوبی (NNFC) ساخته است.
این دستگاه در حال حاضر در این آزمایشگاه نصب شده و تحقیقات پیشرفته MEMS با این ابزار در حال انجام است. وجود قابلیت خلاء بالا این دستگاه را برای استفاده در بخش MEMS ایده‌آل کرده است.
کیم از مدیران بخش نانوسیستم NNFC می‌گوید: « چشم‌انداز این مرکز ایجاد زیرساخت‌های لازم برای تحقیقات تراز اول جهان است. برای رسیدن به این هدف، بسیار مهم است که ما فناوری پردازش لازم را در حوزه‌ها مورد نظر نظیر نانومواد، زیست تراشه و CMOSهای سیلیکونی در اختیار داشته باشیم. گروه EV یکی از پیشروان تولید ادوات اتصال ویفر است که فناوری پیشرفته‌ای برای تحقیق و توسعه و همچنین تولید ادوات MEMS ارائه می‌کند. با خرید آخرین دستاورد این شرکت، ما می‌توانیم به فناوری پردازش مورد نیاز برای فعالیت در حوزه MEMS دسترسی داشته باشیم.»
در طول چند دهه گذشته، EVG حضور جدی در کشور کره جنوبی دارد و فعالیت نزدیکی با تولیدکنندگان و بخش دانشگاهی در حوزه نانوالکترونیک دارد.
گروه صنعتی EV در سال 2008 شعبه‌ای در کشور کره جنوبی افتتاح کرد. این شعبه علاوه بر فروش، روی خدمات پس از فروش و تامین قطعات نیز تمرکز دارد.
به گزارش ستاد توسعه فناوری نانو،پاول لیندر از مدیران اجرایی EVG می‌گوید: «EVG سابقه طولانی در همکاری با مؤسسه‌های تحقیقاتی و دانشگاهی دارد؛ مراکزی که در فناوری‌های مختلف روی لبه علم کار می‌کنند و با صنایع میکرو و نانوالکترونیک در تعامل هستند. این همکاری برای ما اهمیت زیادی دارد و فرصت‌های تازه‌ای برای ما ایجاد می‌کند.»
EVG520IS یک ابزار پردازش اتصال ویفر است که از فناوری اتصال پلاسما در دمای پایین بهره‌مند است.
خرید دستگاهی برای تحقیقات در حوزه MEMS و نانوالکترونیک
