شرکت یولیتا (Eulitha AG) یکی از شرکتهای نوپای سوئیسی در حوزه تولید تجهیزات لیتوگرافی برای استفاده در فناوری نانو، فتونیک و بازار اپتوالکترونیک است. این شرکت اخیراً اعلام کرده است که ابزار فتولیتوگرافی جدید خود را با نام PhableR ۱۰۰ به MESA آزمایشگاه نانولب در دانشگاه توئنته هلند ارائه کرده است.
این سیستم جدید به محققان بین رشتهای کمک میکند تا لیتوگرافی با قدرت تفکیک بالا روی زیرلایههای مختلف انجام دهند؛ بدون این که نیاز به تجهیزات محدود کننده خاصی باشد.
MESA در فضای ۱۲۵۰ متر مربعی در آزمایشگاه نانولب بوده که بالغ بر ۲۰۰ دستگاه مختلف با کاربردهای متعددی در آن وجود دارد. وجود چنین تجهیزاتی موجب شده تا این مرکز فضای بسیار مناسبی برای تحقیقات بین رشتهای در حوزه میکرو و نانوفناوری باشد. اتاق تمیز مورد استفاده این مرکز توسط شرکتهای کوچک و متوسط و همچنین صنایع مختلف مورد استفاده قرار میگیرد.
بعد از تحویل این دستگاه به آزمایشگاه نانولب، جرالد رولوف، رئیس MESA آزمایشگاه نانولب، میگوید: «ما این سیستم لیتوگرافی را به دلیل قابلیتهای آن در چاپ ساختارهای نانومتری انتخاب کردیم به طوری که میتوان الگوهای مختلفی را با استفاده از آن ایجاد کرد. ما انتظار داریم کاربرانی از حوزههای مختلف تحقیقاتی بتوانند از مزایای این سیستم برای لیتوگرافیهای پیشرفته استفاده کنند.»
سیستم RhableR100 به کاربر این امکان را میدهد که یک سیستم دورهای با جزئیاتی در ابعاد کمتر از ۱۵۰ نانومتر را ایجاد کند. در این دستگاه از یک فناوری متمرکز سازی استفاده شده که بینیاز از میکروسکوپ بوده و امکان ایجاد الگوهای یکنواخت را روی سطوح صاف و انحناءدار ایجاد میکند. این فناوری به صورت پتنتی به ثبت رسیده است.
این سیستم جدید به محققان بین رشتهای کمک میکند تا لیتوگرافی با قدرت تفکیک بالا روی زیرلایههای مختلف انجام دهند؛ بدون این که نیاز به تجهیزات محدود کننده خاصی باشد.
MESA در فضای ۱۲۵۰ متر مربعی در آزمایشگاه نانولب بوده که بالغ بر ۲۰۰ دستگاه مختلف با کاربردهای متعددی در آن وجود دارد. وجود چنین تجهیزاتی موجب شده تا این مرکز فضای بسیار مناسبی برای تحقیقات بین رشتهای در حوزه میکرو و نانوفناوری باشد. اتاق تمیز مورد استفاده این مرکز توسط شرکتهای کوچک و متوسط و همچنین صنایع مختلف مورد استفاده قرار میگیرد.
بعد از تحویل این دستگاه به آزمایشگاه نانولب، جرالد رولوف، رئیس MESA آزمایشگاه نانولب، میگوید: «ما این سیستم لیتوگرافی را به دلیل قابلیتهای آن در چاپ ساختارهای نانومتری انتخاب کردیم به طوری که میتوان الگوهای مختلفی را با استفاده از آن ایجاد کرد. ما انتظار داریم کاربرانی از حوزههای مختلف تحقیقاتی بتوانند از مزایای این سیستم برای لیتوگرافیهای پیشرفته استفاده کنند.»
سیستم RhableR100 به کاربر این امکان را میدهد که یک سیستم دورهای با جزئیاتی در ابعاد کمتر از ۱۵۰ نانومتر را ایجاد کند. در این دستگاه از یک فناوری متمرکز سازی استفاده شده که بینیاز از میکروسکوپ بوده و امکان ایجاد الگوهای یکنواخت را روی سطوح صاف و انحناءدار ایجاد میکند. این فناوری به صورت پتنتی به ثبت رسیده است.
به گزارش ستاد توسعه فناوری نانو،این شرکت از مؤسسه پاول شرر که در حوزه ارائه فناوریهای لیتوگرافی تخصص دارد، انشعاب یافته است. این شرکت امکان ایجاد نانوالگوهای مختلف را روی سطوح فراهم میکند.